Dépôt et gravure chimiques par plasma
Compl. Titre  CIP 91, journées de formation 'CIP 91', Antibes, 9-14 juin 1991
Auteurs   Société Française du Vide (Editeur Intel.)
Centre National de la Recherche Scientifique (France) (Editeur Intel.)
Collation   1 vol. (498 p.)
Illustration   Ill.
Format   24 cm
Langue d'édition   français
Sujets   Technique des plasmas -- congrès
Plasmachimie
Traitements de surface
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Réservation
SiteNuméroCoteSection / LocalisationEtat
Bibliotheque 1016010000014 621.044 CIP Adulte / ISMEP ParisDisponible
Notes : Bibliogr. à la fin de chaque article.